福泉手術(shù)室凈化工程公司
發(fā)布時(shí)間：2023-11-07 02:13:58
福泉手術(shù)室凈化工程公司
實(shí)際加工工藝對(duì)溫度的需求之后還要例舉，但是作為總體標(biāo)準(zhǔn)看，考慮到尺寸精度愈來(lái)愈細(xì)致，因此對(duì)溫度波動(dòng)幅度的需求愈來(lái)愈小。比如在大規(guī)模集成電路制造的光刻技術(shù)曝出工藝中，做為掩膜板原材料玻璃與硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來(lái)愈小。
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1.地面設(shè)計(jì)：凈化工程生產(chǎn)車間地面一般用水磨石地面鋪裝，防水解決后涂環(huán)氧樹(shù)脂膠層，做環(huán)氧地坪漆。凈化工程里有必須清理排水功能的車間，必須設(shè)計(jì)有一定的傾斜度(1.0%~1.5%最合適)。便于排水管道，且應(yīng)有較好的排水設(shè)備。
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空氣濕度越大,黏附的難除掉，但是當(dāng)空氣濕度少于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電感應(yīng)力作用使顆粒也很容易吸咐于表面，與此同時(shí)很多半導(dǎo)體元器件很容易發(fā)生穿透。針對(duì)硅片生產(chǎn)制造更好溫度范圍包括35—45%。
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3.依據(jù)制作工藝要求，但考慮到制作工藝規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，要充分考慮人舒適度。
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2.試驗(yàn)室人流量通過(guò)更衣間換衣脫鞋→清潔間洗手消毒→緩沖間→風(fēng)淋房-格操作間。
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